Mikrotechnikai újdonságok (BMEVIEE916801)
Dr. Bársony István, egyetemi magántanár, BME - MTA MFA
Dr. Dücső Csaba, tudományos főmunkatárs, MTA MFA

Bevezető: Mikroelektronika vs. mikrorendszer technológia	Dr. Bársony István
Mikroelektronikai technológiák 1 (Fotolitográfia)	Vázsonyi Éva
Mikroelektronikai technológiák 2 (Adalékolás és magas hőmérsékletű műveletek)	Ádám Antalné
Mikroelektronikai technológiák 3 (Vékonyrétegek leválasztása és marása )	Dr. Dücső Csaba
Implantáció és ionsugaras analízis	Dr. Battistig Gábor
Szilícium 3D megmunkálása	Dr. Dücső Csaba
MEMS litográfia (Szinkrotron, LIGA, proton, elektron, vs. foto)	Dr. Rajta István
Nyomás-, gyorsulás- és erőmérők	Ádám Antalné
Tapintás érzékelés	Dr. Vásárhelyi Gábor
PorSi alapú optikai detektálás	Dr. Pap Andrea
Optikai rácsok, mint érzékelők	Nagy Norbert
Szilárdtest gázérzékelők	Dr. Dücső Csaba
MEMS szerkezetek mechanikai modellezése	Dr. Fürjes Péter
Hőtani megfontolások MEMS eszközök tervezése során	Dr. Fürjes Péter
LED Mikrospektroszkópia	Dr. Rakovics Vilmos
RF és mikrohullámú alkalmazások	Dr. Szentpáli Béla
Nanorészecskés vékonyrétegek	Dr. Deák András
Elektronsugaras litográfia	Dr. Lukács István
A bio-nanotechnológia távlatai	Dr. Vonderviszt Ferenc
Felület érzékenyítés kémiai / biológiai szenzorokhoz	Dr. Kurunczi Sándor
Szintérzékelők, erőmérők, interfacek, távadók	Kulinyi Sándor
Kisérőlap - SiN híd, kétoldalas lúgos marás
Kisérőlap - SiN + Si híd, PS segédréteg

Ha nem ismeri a jelszót: [sensor @ mfa.kfki.hu]
.rar formátum kicsomagolásához töltse le a winrar szoftvert