Clean room services in the MEMS Lab for our partners and customers:

  • Chemical Depositions
  • Cleaning
  • Dry Etching
  • High-Temperature Processes
  • Ion Implantation
  • Mask Design & Fabrication
  • Photolithography
  • e-beam lithography
  • Physical Depositions
  • Wafer Bonding
  • Wet Etching
  • Packaging and testing
  • Materials characterizations

Detailed price quote on  each clean lab process can be requested by e-mail: dragon(at)

Mikrotechnológiai Kutatólabor hozzáférési szabályzata külső felhasználók számára
Technológiai folyamatok tájékoztató jellegű árlistája